1200℃開(kāi)啟式管式爐以電阻絲為加熱元件,選用雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能化程序控溫體系,可控硅操控,控溫精度高;雙層爐殼間配有風(fēng)冷體系,有用降低爐殼表面溫度;結(jié)合我司規(guī)范真空、混氣體系,可抽真空通氣氛;爐蓋可打開(kāi),迅速降溫,結(jié)構(gòu)合理,外形漂亮。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD試驗(yàn)、真空退火等。
1200℃開(kāi)啟式管式爐基本特性
1、天然空氣隔熱式,輕盈易搬運(yùn)。
2、升溫速度快1100℃約只須30分內(nèi)。
3、爐內(nèi)兩面輻射方法加熱,溫度散布均勻。
4、保溫:耐高溫陶瓷棉保溫及陶瓷板、高鋁棉三重保溫。
5、加熱器:加熱器,耐用、升溫穩(wěn)定、加熱速度快。
6、內(nèi)部選用耐高溫陶瓷板,不易變形,外部選用鍍鋅加高溫烤漆漂亮,不易掉漆。
1200℃開(kāi)啟式管式爐正確運(yùn)用方法
1、除了做試驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
2、試驗(yàn)工作完畢時(shí),若無(wú)人持續(xù)運(yùn)用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保存N2流動(dòng),爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)順手關(guān)掉。
3、處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不當(dāng)心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
4、石英玻璃制品請(qǐng)當(dāng)心運(yùn)用,防止決裂,引起嚴(yán)重割傷。
5、防止吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
6、不可與酸類混置,因兩者可發(fā)生劇毒之KCN氣體。
7、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請(qǐng)當(dāng)即告訴有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
8、請(qǐng)節(jié)約純水用量。
9、破晶片、濾紙、棉花棒等,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,防止因排水不良形成地板漬水。
10、長(zhǎng)短推桿之前端,在還沒(méi)運(yùn)用到時(shí),請(qǐng)朝上防止污染。
11、晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boat的holder,請(qǐng)勿碰觸爐管口,防止污染爐管。