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VTC-200P是一款防腐型真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),機(jī)體和真空旋轉(zhuǎn)盤都采用尼龍材料制作,所以儀器具有非常強(qiáng)的抗酸抗堿性,儀器中包括4個(gè)真空吸盤,針對(duì)于直徑為10mm到6英寸??刂坪信c機(jī)體分開(kāi),以便于實(shí)驗(yàn)操作和實(shí)驗(yàn)室擺放。儀器轉(zhuǎn)速為500-8000rpm,分為低速旋轉(zhuǎn)和高速旋轉(zhuǎn)兩個(gè)。同時(shí)產(chǎn)品標(biāo)配中配有無(wú)油泵和20ml注液器。
MSK-AFA-III是一款帶有自動(dòng)烘干功能的小型涂覆機(jī),通過(guò)勻速地推動(dòng)精密制膜器,已達(dá)到平滑和均勻的涂覆效果。儀器采用真空吸附來(lái)固定襯底,使得涂覆過(guò)程中襯底不會(huì)起褶,從而使得涂覆更加順暢。涂覆過(guò)后,儀器上蓋可對(duì)樣品進(jìn)行加熱烘干,Z高溫度可以達(dá)到200℃,控溫精度為+/-1°C。此款設(shè)備特別適合于固態(tài)電解質(zhì)和鋰電池極片的制備。
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片Z大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
GSL-1100X-15E是一款小型真空鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些輕金屬,如 Al. Mg, 和Li等。同時(shí)也可對(duì)樣品進(jìn)行鍍碳處理,Z大可處理的樣品直徑為50mm.。
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些對(duì)氧較敏感的金屬膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個(gè)蒸鍍加熱頭.對(duì)于實(shí)驗(yàn)研究,這是一款鍍膜效果理想并且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐,專門針對(duì)于用PVD或CSS法來(lái)制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD,爐管內(nèi)載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達(dá)20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口,若儀表內(nèi)配有控溫軟件,就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出
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