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2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡(jiǎn)要描述:HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-21
  • 訪  問(wèn)  量:2211

詳細(xì)介紹

    HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DCRF電源配合使用。


技術(shù)參數(shù)

特征

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  • 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作
  • 采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均強(qiáng)場(chǎng)分布
  • 磁體表面涂有一層保護(hù)層,以防止冷卻水的腐蝕,延長(zhǎng)其使用壽命
  • 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DCRF電源相匹配
  • 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作
  • 更換靶材較為簡(jiǎn)單,無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率

  • DC(zui大)1000W
  • RF(zui大)500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時(shí)腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

  • 陽(yáng)極護(hù)套直徑:3.5英寸
  • 總長(zhǎng)度:14英寸

靶材

  • 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度對(duì)于非磁性靶材,zui大厚度為1/4英寸
             
    對(duì)于磁性靶材,zui大厚度為1/16英寸
  • 靶材利用率:30%
  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

  • 流速:   0.8 GPM
  • 進(jìn)水溫度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可選配件

  • 當(dāng)同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時(shí),本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭
  • 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循環(huán)水冷機(jī),流量為16L / min ,水箱容積為6L

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

 

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