OTF-1200X-S-DVD是一款靠磁鐵推動坩堝移動的管式爐。其爐管直徑為50mm,zui高工作溫度為1200℃。本公司設計此款管式爐主要是為了在各種氣氛環(huán)境下用蒸發(fā)性沉積方法(DVD)來制取2維薄膜,或對材料進行快速熱處理。
技術參數
特點 | - 采用高熱傳導率的AlN陶瓷片作為樣品臺,一根K型熱電偶的探頭直接與AlN陶瓷片的底部相接觸。可通過磁鐵推動熱電偶和AlN陶瓷片在 密閉的石英管內移動
- 一款通過NIST認證的精密測溫儀表與熱電偶相連接,實時檢測樣品的溫度。
- 一個磁鐵嵌在氧化鋁管堵內,另一個磁鐵位于石英管外部,通過移動石英管外的磁鐵,可移動石英管內的熱電偶和樣品臺移動。
- 爐體可設置30段升降溫程序,zui高工作溫度為1200℃
- 儀器包括一石英舟,實驗時可放置蒸發(fā)原料或基片。
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功率 | - 208 - 240 VAC, 50/60Hz
- 1.5KW
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zui高工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
zui大升溫速率 | 20℃/min |
加熱區(qū) | - 加熱區(qū)長度:200mm
- 恒溫區(qū)長度:60mm(+/-1°C)
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溫度控制部分 | - 采用PID方式來調節(jié)溫度,控溫儀表上可設置30段升降溫程序
- 控制器上設置有超溫和短偶保護
- 可選:客戶可選購MTS02-B控制模塊和PC,來用電腦設置溫度程序和導出溫度曲線
- 控溫儀表操作視頻
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控溫精度 | +/- 1°C |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有進口氧化鋯涂層,可極大地延長加熱元件使用壽命) |
爐管尺寸 | - 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L
- 配有4個氧化鋁管堵,實驗時需在爐管兩端放入管堵,以保證法蘭的密封性
- 配有一個石英舟,用于盛放蒸發(fā)原料或基片
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真空法蘭 | 配有一對不銹鋼真空法蘭,上面已安裝了不銹鋼截止閥和機械壓力表 |
真空度 | 10-2Torr(用機械泵) |
可選 | - 可選購手動擋板閥與真空泵相連接
- 可選購快速連接法蘭,數顯真空計
- 針對于CVD和DVD實驗,可選購多路供氣系統(tǒng)
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尺寸 | - 爐體閉合時的尺寸:1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H)
- 爐體開啟時的尺寸:1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H)
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重量 | 22kg |
質保 | 一年質保期,終生維護(不包含爐管和密封圈) |
操作視頻 | 點擊查看 |
質量認證 | - CE認證
- 所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CSA認證
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使用注意事項 | - 使用時,石英管內的氣壓不可大于0.12Mpa
- 石英管內處于真空狀態(tài)是,使用溫度不可高于1000℃
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