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簡要描述:OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其Z高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐Z多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
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OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其zui高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐zui多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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功率 | 3KW |
電壓 | 220VAC 50/60Hz |
zui高工作溫度 | 1000℃(<1小時(shí)) |
連續(xù)工作溫度 | 900℃ |
zui大加熱速率 | 20℃/min |
加熱區(qū) |
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溫控系統(tǒng) |
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歐陸儀表(可選) |
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控溫精度 | +/- 1°C |
爐管 |
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真空密封法蘭 |
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真空壓力表 |
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鎧裝熱電偶(可選) |
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尺寸 |
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凈重 | 48 Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 |
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應(yīng)用注意事項(xiàng) |
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