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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū)，可提高溫度均勻性，同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設備相關論文（點擊查看）

OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管，安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中，此過程可在氣氛保護環(huán)境下進行，可實現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護環(huán)境下對處理好的粉料進行收集。此款管式爐設計主要是在鋰離子電池的陰極材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆導電層，同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器Z高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱，Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。