產(chǎn)品特點

• 雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應(yīng)沉積生成薄膜。

• 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

• 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

開啟式管式爐

• 工作溫度：1200℃

• 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

• 溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

• 加熱區(qū)長度：440mm

• 恒溫區(qū)長度：150mm

• 功率：AC 220V 4KW

等離子射頻電源                        

• 輸出功率：50-500Wzui大可調(diào)±1%

• RF頻率： 13.56MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào)

• 噪聲：≤55DB

• 冷卻：風冷

• 輸入功率：1KW  AC 220V

真空泵和閥門                          

• 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

• 真空度可達10-3torr

• 數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

• 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

質(zhì)量流量計

• 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量

• 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

• 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

• 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入

• 進氣口：采用標準雙卡套接頭

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)細節(jié)圖展示

外形尺寸

• 爐體：550*380*520mm

• 供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm

• 凈重：120KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

質(zhì)量認證

  CE認證

國家

名稱：可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置

編號：ZL-2011-2-0355777.1

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