當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD、PECVD設(shè)備 > 雙溫區(qū)開(kāi)啟式真空管式爐 (管徑80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用雙旋片機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),可以混合1-3種氣體,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu) |
|
功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
zui高工作溫度 | 1200 ℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100 ℃ |
zui大升溫速率 | <= 20 ℃ /min |
爐管尺寸和材質(zhì) | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150mm (+/-1oC) |
溫度控制器
|
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控溫精度 | +/- 1oC |
真空密封系統(tǒng)
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真空泵
| 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。 |
數(shù)字式真空表 |
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混氣系統(tǒng)
|
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閥門(mén) | 四個(gè)不銹鋼閥門(mén)安裝移動(dòng)架的側(cè)面板上分別在三個(gè)氣體的入口處 |
尺寸 | 爐子: 550 x 380 x 520 移動(dòng)架: 600x600x597 |
凈重 | 約60KG |
運(yùn)輸重量 | 600 lbs |
運(yùn)輸包裝尺寸 | Two cases in one pallet: 45x45x35/case |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 |
CE Certificate |
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