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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >    >  CVD、PECVD設(shè)備  >  1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC

1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC

簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其Z高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-09-06
  • 訪  問  量:2089

詳細(xì)介紹

   OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其zui高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

 技術(shù)參數(shù)

OTF-1200X系列 管式爐

殼體結(jié)構(gòu)

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷.使得殼體表面的溫度小于60
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

爐管

  • 材質(zhì)高純石英管
  • 石英管包含在內(nèi).
  • 可以選擇其他管徑

功率

2.5KW

工作電壓

AC 208-240V 單相, 50/60Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,zui大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命)

工作溫度

  • zui高工作溫度.: 1200°C
  • 連續(xù)工作溫度: 1100°C

加熱速率

加熱速率: 1~20°C/min 可編程

加熱區(qū)長(zhǎng)度

  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度. : 150mm (±1°C)

控溫系統(tǒng)

  • PID自動(dòng)控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序
  •  控溫儀表操作視頻
  • 控溫精度: ±1°C           
  • 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空密封

  • 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,已經(jīng)安裝
  • 法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表
  • 一對(duì)精密針閥
  • KF-40 的抽氣接口

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V , 50/60Hz

高真空機(jī)組

殼體

  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • zui大承載量:       600 Lbs on topf:  
  • 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示
  • 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:   

抽氣速率

  • N2     33 L/s
  • He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范圍

 1000 mbar to <1E-7 mbar 

極限

<1E-8 mbar (無泄漏

質(zhì)量流量控制器

殼體

  • 采用 316不銹鋼制作
  • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W 

工作電源

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  CE Certificate


 

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