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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  CVD、PECVD設(shè)備  >  CVD管式爐  >  OTF-1200X-4-R-II-AF1200℃ 4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐

1200℃ 4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐

簡要描述:OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-4-R-II-AF
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-22
  • 訪  問  量:3650

詳細(xì)介紹

 OTF-1200X-4-R-II-AF是一款雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

 

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層爐體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
  • 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有氧化鋁涂層
  • 采用直流電機(jī)帶動爐管轉(zhuǎn)動,其轉(zhuǎn)速:0 - 10 RPM
  • 爐體可傾斜,zui大傾斜角度為30°
  • 爐體開啟式設(shè)計(jì),可以達(dá)到快速冷卻和便于更換爐管

自動送料器

  • 爐體上安裝有自動送料器,帶有密封結(jié)構(gòu),可在惰性氣體保護(hù)環(huán)境下,將粉料送入到爐管內(nèi)
  • 送料速率可以通過電位計(jì)調(diào)節(jié),zui大送料速率為:97cm^3/min
  • 一個不銹鋼收料罐(容積為1L),安裝在出料端,可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下收集處理好的物料
  •     

加熱區(qū)長度

  • 2個加熱區(qū),每個加熱區(qū)長度為200mm,總加熱區(qū)長度為400mm
  • 恒溫區(qū)長度:200 mm(+/- 1,兩個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

爐管&封法蘭

  • 石英爐管尺寸:  100 mm O.Dx 1200 mm L (異型管)
  • 兩端直徑為60mm) 
  •   
    Four Mixing Blades    Dimension
  • 爐管中焊有楊料板,可以更好的使材料混合
  • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭(法蘭上安裝有不銹鋼針閥和旋轉(zhuǎn)接頭)

工作溫度

  • zui高工作溫度:1200℃(<1小時)
  • 連續(xù)工作溫度:1100℃

溫控系統(tǒng)&熱電偶

  • 兩個溫區(qū)有兩個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制,都可設(shè)置30段升降溫程序
  • 采用Omega K型熱偶

爐管轉(zhuǎn)動速度

0 - 10 RPM(可調(diào))

傾斜角度

 左: 0~30°: 右: 0~15°

極限真空度

4.5x10-2 torr(采用機(jī)械泵)

功率

  • 回轉(zhuǎn)爐:4KW
  • 送料器:200W

電壓

AC208 - 240V 單相 (需要30 A的空氣開關(guān))

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認(rèn)證
  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
         

儀器尺寸

  • 爐體: 1300mm × 600mm × 1200mm 
  • 送料器: 220mm × 220mm × 202mm 

凈重

125kg

應(yīng)用

  • 可配合本公司的供氣系統(tǒng),采用CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和表面修飾
  • 可選購大容量的自動送料器

警告

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
 

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